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王高渙率軍二十萬攻擊五國後方，命四安將軍（正三品）趙恆率軍八萬攻打濮部（也叫苗疆），命中領軍（正三品）劉廷率軍八萬攻打于闐（今屬新疆），命中護軍（正三品）馮文率軍八萬攻擊龜茲（今屬新疆），命安德王高延宗率軍十六萬攻打寶髻（今西藏），又命河南王高孝瑜，任城王高湝，襄城王高淯散騎將軍（從三品）斛律武都，四方中郎將（從三品）斛律恆伽，武衛將軍（從三品）斛律世雄等人監督後方事宜。
天統二年 二月七日，五國聯軍戰敗撤軍，齊軍乘勝追擊，一月七日至二月二月十二日，齊軍逐步攻佔五國後方全部城邑，直到二月十三日，五國國王才全部投降。二月十四日，齊軍攻佔于闐，于闐王投降，于闐國滅，二月十六日，齊軍攻佔濮部，濮部王投降，濮部國滅，二月十七日，齊軍攻佔龜茲，龜茲王投降，龜茲國滅。
天統二年 二月十九日，齊軍已攻佔寶髻大半城邑，超過半數的寶髻部落首領投降，只有幾個部落還在負隅頑抗，齊軍繼續攻城。二月二十三日，因戰敗而被迫逃亡的五國剩餘部隊被齊軍兩面夾擊，消滅殆盡，兩軍會師，五國正式滅亡。二月二十五日，齊軍攻佔寶髻最後一個城邑，其首領自盡身亡，寶髻滅亡。齊軍西征與北伐正式結束，大齊的疆域擴大了將近一倍，至此幾百年都不屬於中原帝國的東北、西北與西南之地盡歸大齊。
天統二年三月一日，大齊五路大軍帶領這些降國王室班師回朝。三月六日，文睿帝命百官擬定新的州郡名，並下詔這些新州郡皆免稅一年，正式開始實施大齊的刑法律令，並由吏部挑選新的州郡長官，並讓新州郡百姓推選有能有德之人，每郡一人，後由朝廷冊封。與朝廷選出的官吏兩人共同管理一郡，此法一出，效果甚好，其後大齊諸帝一直運用此法，管理這三處之地。
天統二年三月十五日，大齊五路大軍歸京，文睿帝大喜，下詔諸將皆晉升兩級，賞賜無數，其餘百官晉升一級，齊軍有功兵士皆晉升，賞銀，並回歸軍營休整。同日，文睿帝還下詔天下大赦。至於降國王室們，文睿帝下詔凡罪大惡極者，皆不予官職，發配於邊疆苦寒之地，開墾荒地用於自給自足，而品行良好或年齡尚幼者，則皆封為侯爵或伯爵，降國王室的女眷若無子女者，則入百官府中，也算日後生活得一保障。
其中，陳國也添了幾個小插曲：天統元年六月十四日，陳國大司馬大將軍吳明徹於陳國承元殿上，上奏勸說後主，不可再迷戀後宮，因勵精圖治方可，更言道:張麗華為妃嬪，實在不可帶入大殿議事，後主
