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懂，你们也早就弄出来了。
不懂，那就应该抱着谦虚请教的心，而不是在主家横挑鼻子竖挑眼！\"
方程的一席话，让会场的人都有些如坐针毡，很不自然。
他们做为行业中的翘楚，走到哪里那都是被人捧着哄着，什么时候被人这样批评过？
可他们也是有气撒不出。因为方程说的也是事实。他们自己扪心自问，自己确实有些喧宾夺主了。
方程没在这个问题上继续说一下，而是道：\"我将大体的思路跟大家说一下，然后我们再一起讨论。
现在西方光刻机光源主要应用的激光等离子体技术，这个我就不多说了。主要讲讲放电等离子体技术。\"
方程坐在那里开始了他的介绍。
放电等离子体技术，其实就是通过快脉冲、大电流对介质放电，然后形成高温高密度等离子体，从而实现极紫外辐射光自发辐射输出。
而根据放电方式的不同，放电等离子体技术又分为等离子体焦点技术、中空阴极管放电技术、毛细管放电等离子体技术、激光辅助放电等离子体技术。
激光辅助放电等离子体机制极紫外光刻光源，用锡做为工作介质，用纳秒激光与锡相互作用在正负电极之间产生锡的初始等离子体，形成放电通道…
方程大概讲了一遍后，继续道：\"国外在几年前也有过此类的研究，相信大家也有耳闻。
虽然放电等离子体技术有诸多优点，比如光源结构简单，投资运营成本低，适合大规模工业应用等。但它的缺点同样很多。
比如说，碎屑控制、重复频率、放电条件下光源稳定性、增大光源输出角等问题。\"
在座的众人纷纷点头。这也是他们过来参观方程式有限公司的主要原因。
\"我们公司根据其缺点，逐一进行了解决！\"
此言一出，会议室内顿时一片倒吸冷气声！
如果真如方程所说，这些问题都解决的话，那可以说，国外那所谓的封锁，在以后就只是个笑话而已。
毕竟相比阿麦斯的光刻机来说，其光源上面临的困难也是很多的。
他们之所以放弃激光辅助放电等离子体技术，就是因为这些难题一直得不到解决。
大家连忙屏气凝神，静待方程的讲解。
\"先来说一下关于碎屑的控制问题。大家都知道碎屑的产生是因为激光轰击锡物料所产生的。
