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經過了一晚上的休息,隔天一早,林天就迫不及待地親自前往龍芯國際操刀光掩膜版的生產製作。
陳星與曲程沒有急著離開魔都,而是共同前去觀摩。
他們都想看看,林天到底是不是那麼全能。
龍芯國際實驗室內,已經聚集了大批抱著學習態度,前來觀看的光刻工程師。
面對數十位光刻工程師組成的圍觀學習人群,林天也沒有半點怯場,眼神平靜且專注,與前一天吊兒郎當的樣子判若兩人,輕車熟路地開始了光掩膜版的初步製作。
光掩膜版的製作流程與晶片生產同理,同樣要經過圖形制作與轉換、曝光、顯影、蝕刻、脫模、清洗、缺陷檢查、缺陷修補、出貨清洗、貼膜十個主要步驟,但又與晶片生產不同。
晶片生產,光刻機曝光,而光掩膜版可不能依靠光刻機曝光,而是需要用到鐳射電子束直寫方式對Blankmask(光掩膜版材料)進行曝光。
當正性光刻膠被曝光後,化學結構發生變化,產生光酸,透過顯影液作用,被曝光的部分光刻膠溶解,而負性光刻膠被曝光部分結構交聯,生成不易溶穩定化學結構,再透過顯影液作用,曝光部分得以保留。
正所謂!
行家一出手,便知有沒有!
林天前面步驟完全正確,沒有半點外行的影子,而且過程行雲流水,絲毫沒有半點拖沓,像是一位經歷過上萬次光掩膜版製作的老手,一切都水到渠成。
這也讓高永明、唐鑫宇,以及一眾圍觀的光刻工程師們打心底佩服,懂光刻機,懂掩膜版,這簡直就是全能天才啊!
在等待第一次流片的蝕刻空隙,龍芯國際的副首席工程師唐鑫宇搓了搓手,再也忍不住請教了:“打擾一下林工,駐波效應你有什麼好辦法解決嗎?”
駐波效應,在光刻過程中,會有一部分光被反射回來,這個反射的光和原來的入射光頻率相同,會相互干涉,導致光阻層中光強度的分佈不均,呈現出交替的亮暗區域,導致流片失敗。
如何有效削減駐波效應,一直是他們頭疼的問題。
林天移開鎖定在裝置上的目光,淡淡說道:“使用TARC,BARC等抗反射層材料,或者進行加熱烘烤,用高溫促進光敏劑的擴散,一定程度上彌補了光強分佈不均的問題,在顯影過程中可以得到更均勻的圖案剖面。”
聲音不大,卻傳遍實驗室。
龍芯國際的工程師沒有遲疑,立馬掏出記事本記