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“比如我們要做14奈米晶片,可以把設計的晶片電路圖案拆開,就得到了兩份28奈米間隔的電路圖案,分兩次把它們刻在矽片上,就會形成完整的14奈米晶片電路圖案,就類似於我們龍國的太極圖,一陰一陽互補的意思。”
“因為是兩塊晶片掩膜版,所以要給雙倍的流片費用。”
陳星大致聽明白了,這個多重曝光技術就相於要印刷一個AB字母的組合圖案。
第一步先把AB拆開,得到A與B兩個圖案,然後將它們分別製作光掩膜版,緊接著用第一塊A字母的掩膜版在矽片上刻了A,再用B字母的掩膜版在矽片上刻上B,最終得到所需要的AB組合圖案。
八個字概括就是,精度不夠,工序來湊。
“要花兩倍的流片費用,高總,14奈米的……”
陳星剛想問問流片費多少,卻發現高永明整個人止不住顫抖,瞳孔微縮的同時,充滿了恍然大悟與激動之色。
他身旁的兩位光刻工程師,也在喃喃低語。
“多重曝光…”
“既然單次精度不夠,為何不分兩次曝光呢?”
“好天才的想法…”
三人似乎進入了頓悟狀態,高永明本身就是幹這方面的,同時也是光刻領域的教授,他自然不會聽不懂林天在說什麼,現在他腦海只有一段話:“多重曝光技術,DUV光刻機的春天終於要來了嗎?”
一陰一陽的圖案互補,理論上是絕對可以的,而且還能一分為四,雖然工序更復雜,還別說,7奈米晶片真能造!
曲程也在驚歎這個想法,他怎麼說也是半導體領域院士,雖然不是光刻方面的,但步驟他可都是一清二楚的。
驚歎林天想法的同時,也在感慨陳星運氣怎麼這麼好,可以結識到這麼多天才。
高正謙、白衍、林天這三人,他都可以用怪胎形容了,而陳星可以同時和他們結交,並將其收入麾下,怪不得有人說,運氣也是實力的一部分。
不知過去多久,可能有足足十分鐘左右。
“呼——”
唐鑫宇長舒一口氣,看向高永明說道:“生產陰陽晶片掩膜版,沒準真能突破光刻機限制,造出14奈米晶片。”
“我覺得可以一試。”
另一位龍芯國際的工程師也開口給予肯定。
以往他們的思維是,擁有多少奈米精度的光刻機,就製造多少奈米的晶片,這也是國際一直灌輸的刻板理念,讓